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| 脉冲偏压对PECVD制备DLC薄膜的结构及性能的影响 | |
| 引用本文： | 陈国富.脉冲偏压对PECVD制备DLC薄膜的结构及性能的影响[J].润滑与密封,2018,43(3):17-22. |
| 作者姓名： | 陈国富 |
| 作者单位： | 华南理工大学机械与汽车工程学院 |
| 基金项目： | 广东省科技计划项目（2016A010102009）；广州市科技计划项目（201707010055）. |
| 摘 要： | 在不锈钢基材表面利用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)改变脉冲偏压制备不同结构类金刚石薄膜(DLC)。分别采用表面轮廓仪、扫描电镜、拉曼光谱及电子探针分析薄膜的表面粗糙度、断面形貌、薄膜结构及成分,采用纳米压痕仪及划痕仪测试薄膜的纳米硬度、弹性模量和膜基结合力,采用球盘摩擦试验机测试薄膜在大气环境中的摩擦学性能。结果表明:脉冲偏压显著影响PECVD制备的DLC薄膜的表面粗糙度、微观形貌、膜基结合力、纳米硬度及摩擦学性能;随偏压的增大,DLC薄膜的表面粗糙度,摩擦因数及磨损量都先减小后增大,而膜基结合力则先增大后减小。其中2.0 k V偏压制备的DLC薄膜具有最强的膜基结合力,而1.6 k V偏压制备的DLC薄膜具有最低的表面粗糙度、最高的硬度和最优的减摩耐磨性能。 |
| 关 键 词： | 脉冲偏压 DLC薄膜 力学性能 摩擦学性能 |
Effects of Pulse Bias Voltages on Structure and Property of DLC Films Prepared by PECVD Technique |
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| Abstract: | |
| Keywords: | pulse bias voltages DLC film mechanical properties tribological performance |
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