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| 极高真空测量中微小离子流检测技术研究 | |
| 引用本文： | 孙健, 李得天, 王永军, 等. 极高真空测量中微小离子流检测技术研究[J]. 真空与低温, 2016, 22(2): 75-80. DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.02.003 |
| 作者姓名： | 孙健 李得天 王永军 张虎忠 张琦 |
| 基金项目： | 国家杰出青年科学基金（No.61125101）;国家重大科学仪器设备开发专项（No.2013YQ24042108） |
| 摘 要： | 为解决极高真空测量中电离真空计微小离子流的检测难题,设计采用精密运算放大器组成电流电压转换结构,配合低通滤波、零点调节以及相位补偿等技术,实现了10-14A微小离子流的准确检测。通过与国内外不同型号电离真空计进行试验测试,验证了该设计电路能够准确检测10-9Pa极高真空下的电离真空计离子流,为实现极高真空测量设备国产化提供了技术参考。 |
| 关 键 词： | 极高真空 测量 微小离子流 检测 |
| 收稿时间： | 2016-02-29 |
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