四极质谱仪在电子诱导脱附实验中的应用

光电解吸气载是同步辐射光束线特有的解吸气载。经研究,光电解吸气载是光束线真空系统动态情况下的主要气载。在整个光电解吸过程中,光电子及二次电子对真空材料表面吸附气体的激发起主要作用。电子诱导脱附实验(ESD)是研究光电解吸过程的重要手段。本课题针对不同材料的样品及不同样品处理工艺情况下,使用MPH 200M四极质谱仪测量样品室中残余气体分压,得到了真空室材料受电子激发后的残余气体成分,并利用上述气体分压计算出主要残气气体成分的电子激发解吸系数同入射电子累积剂量的关系。为光束线真空系统维护提供了实验数据。