论罗茨真空泵的基础压力和漏率

基础压力是容积真空泵的特征性能指标,但作为容积泵一员的中真空罗茨真空泵却不是,它的性能在很大程度上依赖、取决于前级真空泵和测试条件,只有漏率才是罗茨真空泵的特征性能指标。本文分析了极限压力、基础压力和漏率三者之间的关系,着重指出,漏率的测量与前级泵无关,也基本上不受环境温度的影响,应取代极限压力(基础压力)作为中真空罗茨真空泵的特征性能指标。