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1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究
引用本文:盛丽英 张颂培 王力元. 1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究[J]. 感光科学与光化学, 2005, 23(5): 389-393
作者姓名:盛丽英 张颂培 王力元
作者单位:[1]北京师范大学化学系,北京100875 [2]北京工商大学化工学院,北京100037
基金项目:国家“十五”“863”专项子课题(2002AA321330-2)
摘    要:用过氧化氢氧化烯烃得到顺式邻环己二醇,继而和对甲苯磺酰氯反应得到两种1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯,以溴酚兰作指示剂,用作者自己的方法定量测定了它们在聚乙二醇膜层中的酸解性能,结果表明,在光产酸剂所产酸作用下,在加热条件下这些化合物发生分解并产酸,这两个磺酸酯的储存稳定性不是很好,在极性溶剂作用下易分解,限制了它们在化学增幅型成像材料中的应用。

关 键 词:酸增殖剂 光产酸剂 光致抗蚀剂 磺酸酯
文章编号:1000-3231(2005)05-0389-05
收稿时间:2005-04-27
修稿时间:2005-06-03

The Preparation and Properties of 1-Substituted cis-1,2-Cyclohexanediol Monosulfonate Acid Amplifier
Cheng LiYing;Zhang SongPei;Wang LiYuan. The Preparation and Properties of 1-Substituted cis-1,2-Cyclohexanediol Monosulfonate Acid Amplifier[J]. Photographic Science and Photochemistry, 2005, 23(5): 389-393
Authors:Cheng LiYing  Zhang SongPei  Wang LiYuan
Abstract:Two 1-substituted cis-1,2-cyclohexanediol monosulfonate acid amplifiers were prepared by hydrogen peroxide oxidizing of corresponding olefin and then esterified with p-toluenesulfonyl chloride. The acidolysis properties were studied directly by detecting the small amounts of acid generated by the compounds with our method using bromophenol as indicator. The two compounds displayed good acidolysis property when moderately warmed but the storage stability is low. They are also unstable to polar solvems.
Keywords:acid amplifier   photoresists   sulfonate   PAG
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