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| 新金属材料(三) 第三讲 离子注入在金属中的应用 | |
| 引用本文： | 高唯.新金属材料(三) 第三讲 离子注入在金属中的应用[J].机械,1984(6). |
| 作者姓名： | 高唯 |
| 作者单位： | 成都科技大学 |
| 摘 要： | 一、离子注入技术的发展概况及特点离子注入是在高真空下以一定的能量将离子注入材料表面,用以改变材料性质的一种技术。六十年代,离子注入广泛用于半导体材料的掺杂及半导体元件的制作。到了七十年代,人们将离子注入用于金属材料表面改性,使其得到了新的发展。十多年来,国外 |
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