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| 第十六讲真空系统的操作与维护 | |
| 引用本文： | 张以忱.第十六讲真空系统的操作与维护[J].真空,2009,46(4). |
| 作者姓名： | 张以忱 |
| 作者单位： | 东北大学,辽宁,沈阳,110004 |
| 摘 要： | (上接2009年第3期88页) 4 扩散泵抽气系统 4.1 扩散泵抽气系统组成 一台经典的低返油率小型扩散泵高真空抽气系统的示意图.抽气系统主要由扩散泵、冷阱、闸板阀和机械泵等的结合组成. |
No.16:Operation and maintenance of vacuum systems |
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| ZHANG Yi-chen.No.16:Operation and maintenance of vacuum systems[J].Vacuum,2009,46(4). | |
| Authors: | ZHANG Yi-chen |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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