| TiC／i—C复合硬质膜的过渡层界面和特性的研究 |
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| 引用本文： | 严学俭. TiC／i—C复合硬质膜的过渡层界面和特性的研究[J]. 功能材料与器件学报, 2001, 7(3): 287-292 |
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| 作者姓名： | 严学俭 |
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| 作者单位： | 严学俭（复旦大学材料科学系，上海 200433） |
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| 摘 要： | 探讨在i-C(离子辅助沉积）硬质无定形碳膜和钢基基片之间加入碳化钛（TiC)过渡层，以增加膜/基附着力和结合强度的各种优越性，SEM（扫描电镜）和EPMA（电子探针微分析）测试显示TiC中间过渡层与i-C层及基片的界面处的附着结合强度得以改善，划痕测试仪对该复合膜测试则从另一方面提供了膜/基结合强度提高的证据。对该复合膜的宏观机械力学性能的测试表明，它在提高了膜/基结合强度的同时，保持了类金刚石薄膜超高硬度和低摩擦系数的优良特性。
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| 关 键 词： | 过渡层界面 复合膜 附着强度 碳化钛 离子辅助沉积 类金刚石薄膜 |
| 文章编号： | 1007－4252(2001)03－0287－06 |
| 修稿时间： | 2000-10-18 |
Study on thetransition interface of TiC/i |
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| YAN Xue. Study on thetransition interface of TiC/i[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2001, 7(3): 287-292 |
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| Authors: | YAN Xue |
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