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| 等离子清洗洗技术(一) | |
| 引用本文： | 熊楚才.等离子清洗洗技术(一)[J].洗净技术,2003(7):41-44. |
| 作者姓名： | 熊楚才 |
| 作者单位： | 北京理工大学,100081 |
| 摘 要： | 文章对等离子清洗技术做了全面介绍,不仅介绍了有关等离子的基本概念、低温等离子体制备技术及其相关装置,而且着重介绍了它在精密清洗中的应用及其注意事项,指出等离子清洗技术在淘汰ODS清洗剂过程中能够发挥重要作用 |
| 关 键 词： | 等离子体 清洗 |
Plasma Cleaning Technology (1) |
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