| CMUTs机电耦合系数解析式及其对功耗的影响 |
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| 引用本文： | 李支康,赵立波,李杰,赵一鹤,徐廷中,罗国希,郭帅帅,刘子晨,蒋庄德.CMUTs机电耦合系数解析式及其对功耗的影响[J].机械工程学报,2020,56(17):173-181. |
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| 作者姓名： | 李支康 赵立波 李杰 赵一鹤 徐廷中 罗国希 郭帅帅 刘子晨 蒋庄德 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学机械工程学院 西安710049;西安交通大学苏州研究院 苏州215123;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学机械工程学院 西安710049;西安交通大学苏州研究院 苏州215123;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学机械工程学院 西安710049;西安交通大学苏州研究院 苏州215123;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学机械工程学院 西安710049;西安交通大学苏州研究院 苏州215123;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学机械工程学院 西安710049;西安交通大学苏州研究院 苏州215123;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学机械工程学院 西安710049;西安交通大学苏州研究院 苏州215123;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学机械工程学院 西安710049;西安交通大学苏州研究院 苏州215123;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学机械工程学院 西安710049;西安交通大学苏州研究院 苏州215123;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049;西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安710049;西安交通大学机械工程学院 西安710049;西安交通大学苏州研究院 苏州215123 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家重点研发计划;中国博士后科学基金;苏州市重点产业技术创新前瞻性应用研究;国家重点实验室基金 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | CMUTs 机电耦合系数 解析式 功耗 |
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