CCD 及其在自动化领域中的应用

电荷耦合器件(简称 CCD),是一种新型的半导体器件。它是一种用电荷来表示不同状态的动态移位寄存器,其电荷信息(少数载流子)的转移是以外加电压在热弛豫期间产生的表面势阱的变化而实现的。其制造工艺仍采用 MOS 半导体光刻技术,制成表面沟道或埋沟道的 CCD 器件(P 型或 N 型)。