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| 《中国表面工程》2009年第1期摘要及目次 | |
| 摘 要： | 等离子增强磁控溅射TiSiCN基纳米复合镀层耐冲蚀性能研究介绍了等离子增强磁控溅射(PEMS)技术,系统研究了其制备的TiSiCN纳米复合镀层。首先讨论该技术工作原理,并描述了镀层的制备工艺过程。镀层性 |
| 关 键 词： | 纳米复合镀层 磁控溅射 熔覆层 封严涂层 显微组织 耐冲蚀 纳米涂层 等离子增强 层状硅酸盐矿物 性能研究 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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