| 316不锈钢表面沉积厚类金刚石膜层的性能研究 |
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| 引用本文： | 杨发展,沈丽如,高翚,刘海峰,王世庆.316不锈钢表面沉积厚类金刚石膜层的性能研究[J].功能材料,2012,43(15):1994-1997. |
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| 作者姓名： | 杨发展 沈丽如 高翚 刘海峰 王世庆 |
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| 作者单位： | 1. 核工业西南物理研究院,四川成都,610041
2. 核工业西南物理研究院,四川成都610041／成都理工大学工程技术学院,四川乐山614000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用脉冲辉光放电等离子体气相沉积法在316不锈钢表面沉积膜层较厚的类金刚石膜层。利用拉曼光谱仪(Raman)、X射线光电子能谱仪(XPS)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)、光学显微镜、显微硬度计和摩擦磨损实验机分别对膜层组成和微观结构及机械性能进行了表征。研究发现,通过脉冲辉光放电等离子体气相沉积法,在316不锈钢表面制备的类金刚石膜层光滑致密;Raman分析得到的ID/IG和IT/IG比值分别为0.72和0.22;FT-IR分析可知膜层含有较多的CHx组成的sp3键;摩擦磨损试验得到膜层的摩擦系数低至0.100,XPS分析膜层sp3含量高达60.7%和光学显微镜测量膜层的厚度达到7mm。由此可知沉积类金刚石膜层后,可以显著地改善316不锈钢表面的机械性能。
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| 关 键 词： | 316不锈钢 类金刚石膜层 等离子体气相沉积 表面性能 |
Properties of diamond-like carbon films were deposited on 316 stainless steel |
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| YANG Fa-zhan,SHEN Li-ru,GAO Hui,LIU Hai-feng,WANG Shi-qing.Properties of diamond-like carbon films were deposited on 316 stainless steel[J].Journal of Functional Materials,2012,43(15):1994-1997. |
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| Authors: | YANG Fa-zhan SHEN Li-ru GAO Hui LIU Hai-feng WANG Shi-qing |
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| Affiliation: | 1,2(1.Southwestern Institute of Physics,Chengdu 610041,China; 2.College Engineering and Technical,Chengdu University of Technology,Leshan 614000,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | 316 stainless steel diamond-like carbon films plasma enhanced chemical vapor deposition surfaceproperties |
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