| 高场强下铝阳极氧化膜中相关元素的分布及其介电性能 |
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| 引用本文： | 袁战恒,孙海君,徐友龙,曹婉真. 高场强下铝阳极氧化膜中相关元素的分布及其介电性能[J]. 电子元件与材料, 1999, 18(4): 11-12,15 |
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| 作者姓名： | 袁战恒 孙海君 徐友龙 曹婉真 |
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| 作者单位： | 西安交通大学,西安,710049 |
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| 摘 要： | 利用俄歇电子能谱仪（ＡＥＳ）分析了高场强下不同条件形成的阳极氧化膜中相关元素的分布，分析表明膜中不同程度存在Ｂ、Ｃ、Ｐ等相关元素。测试其相应的介电性能，表明氧铝比Ｒ（Ｏ∶Ａｌ）接近于１．５时其介电性能较好。
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| 关 键 词： | 铝阳极氧化膜；相关元素分布；介电性能 |
The distribution and dielectric characteristic of the related element in the aluminum anode oxide film under high field strength |
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| Yuan Zhanheng,Sun Haijun,Xu Youlong,Cao Wanzhen. The distribution and dielectric characteristic of the related element in the aluminum anode oxide film under high field strength[J]. Electronic Components & Materials, 1999, 18(4): 11-12,15 |
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| Authors: | Yuan Zhanheng Sun Haijun Xu Youlong Cao Wanzhen |
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