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| 离子束与固体相互作用中的一些物理冶金问题 | |
| 作者姓名： | 胡仁元 |
| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所 |
| 摘 要： | 离子注入及离子束混合一般包括两类物理过程:一是高速粒子与团体靶原子碰撞和级联碰撞过程,是使固体表面原子无序化过程,其结果是形成大量原子离位,造成结构损伤和缺陷;二是其后的物理化学过程,是按照热力学能量最低原则趋向有序化过程。其中,包括点阵再定位(velocation)的弛豫过程、增强扩散过程、亚稳相回到平衡态过程。在这两类过程中碰撞是整个过程的初始条件,其后物理化学过程是在这一初始条件及一定边界条件下进行的,最后决 |
| 关 键 词： | 离子注入 离子束混合 物理冶金 离子辐照 |
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