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两种电容效应的六维力传感器结构设计及解耦
作者单位:广西大学机械工程学院,广西 南宁 530004;广西制造系统与先进制造技术重点实验室,广西 南宁 530004;广西大学机械工程学院,广西 南宁 530004
基金项目:广西创新驱动发展专项;广西创新驱动发展专项;广西重点研发计划项目;南宁市重点研发计划项目;南宁市重点研发计划项目
摘    要:

关 键 词:六维力传感器  电容边缘效应  平行极板电容效应  解耦  标定实验  维间耦合
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