| 摘 要： | 溅射离子系进行稳定状态的抽气特性决定于放电强度（ Ｉ／Ｐ）和抽气效率 （Ｓｐ／Ｉ）。这种泵采用磁性来限制冷阴极气体放电。可以在进入超高真空和更低的压强范围内进行工作。许多经验证明了，放电强度在不同程度上是依赖于下列有关参数：电压、磁场、电极几何形状、电极材料、气体的种类和压强。这种放电的理论与圆满解释是仍旧相差很远。在放电格子中观察到空间电行对改变电位起主要作用。在这里可近似地认为，放电强度与阳极电压和阴极长度成比例。但是，与作为乘积（即磁场×阳极直径）为常数的阳极直径无关。另外，关于要求的放电强度，用潘宁正磁控管和反磁控管室作一下比较。 对于在放电中产生的每一个阳离子，抽除的气体分子的数目成比例的量（Ｓｐ／Ｉ）提供出一种油气效率的测量方法。由于化学活泼性气体与从阴极溅射出来的收气剂材料，化合作用产生的抽气作用最低限度在理性上能很好地理解。至少在实验上，由离子埋葬吸附和扩散到阴极里的对氢的抽气作用亦能很好地建立。但是对惰性气体的抽气有时也涉及了这些方面。对于普通二极型和早期（两个电位）的三极型溅射离子泵。表面上，对氢的抽气已作了满意的说明。这种说明对最近（单电位）的三极型泵也未必适用，对采用不同材料的双阴极的二
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