| 多室镀膜机的结构特点与工业应用 |
| |
| 引用本文： | 杨乃恒,巴德纯,王晓冬,刘坤. 多室镀膜机的结构特点与工业应用[J]. 真空, 2013, 50(1) |
| |
| 作者姓名： | 杨乃恒 巴德纯 王晓冬 刘坤 |
| |
| 作者单位： | 东北大学机械工程与自动化学院,辽宁沈阳,110819 |
| |
| 摘 要： | 首先介绍镀膜技术的分类、软硬衬底涂层设备的结构特点及多室系统、现代卷绕镀膜机单室、双室及三室的真空设计,其次介绍直线式与集束式多室镀膜机的结构特点,最后叙述大型真空镀膜设备工业应用及进展情况。(1 Torr=133 Pa)
|
| 关 键 词： | 多室 直线式与集束式系统 大型镀膜设备 真空系统设计 |
The structural features and industrial applications of the multi-chamber coating machine |
| |
| YANG Nai-heng , BA De-chun , WANG Xiao-dong , LIU Kun. The structural features and industrial applications of the multi-chamber coating machine[J]. Vacuum(China), 2013, 50(1) |
| |
| Authors: | YANG Nai-heng BA De-chun WANG Xiao-dong LIU Kun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
