| 基于PLC和组态软件的透射电镜真空控制系统 |
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| 引用本文： | 陈川,董全林. 基于PLC和组态软件的透射电镜真空控制系统[J]. 真空, 2013, 50(3) |
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| 作者姓名： | 陈川 董全林 |
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| 作者单位： | 1. 北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室,物理科学与核能工程学院,北京100191
2. 北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室,仪器科学与光电工程学院,北京100191 |
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| 摘 要： | 按照透射电镜对真空系统的控制要求与真空系统的构成,采用集散控制的思想,建立了以PLC为底层核心控制器,组态王作为集中管理软件的控制系统.上位机组态软件通过以太网与下位PLC进行通讯与数据交换,实现了较为完备的透射电镜真空系统的控制,该系统已投入使用,真空度符合要求,运行效果良好.
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| 关 键 词： | 透射电子显微镜 真空系统 PLC 组态软件 |
A vacuum control system in transmission electron microscope based on PLC and configuration software |
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| CHEN Chuan , DONG Quan-lin. A vacuum control system in transmission electron microscope based on PLC and configuration software[J]. Vacuum(China), 2013, 50(3) |
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| Authors: | CHEN Chuan DONG Quan-lin |
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