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低噪声气冷罗茨真空泵ZJQ600/400的研制
引用本文:张宝夫,王于祥,巫修海,柯建汝,王玲玲. 低噪声气冷罗茨真空泵ZJQ600/400的研制[J]. 真空, 2013, 50(3): 20-22
作者姓名:张宝夫  王于祥  巫修海  柯建汝  王玲玲
作者单位:1. 台州职业技术学院,浙江台州318000;马德宝真空设备集团有限公司,浙江台州318000
2. 马德宝真空设备集团有限公司,浙江台州,318000
3. 台州职业技术学院,浙江台州,318000
4. 沈阳真空技术研究所,辽宁沈阳,110042
摘    要:本文分析了气冷罗茨真空泵工作过程中产生噪声的主要根源,通过在Pro/engineer环境中三维实体精确建模,设计制做了一种减缓排气口及两侧返冷气口的高压气体对基元容积内低压气体敞开冲击速度的扭叶转子,降低常用前级泵ZJQ600/400气冷罗茨真空泵的主要噪声。

关 键 词:罗茨真空泵  直排大气  噪声  扭叶

Development of the low noise gas-cooled ZJQ600/400 Roots vacuum pump
ZHANG Bao-fu , WANG Yu-xiang , WU xiu-hai , KE Jian-ru , WANG Ling-ling. Development of the low noise gas-cooled ZJQ600/400 Roots vacuum pump[J]. Vacuum(China), 2013, 50(3): 20-22
Authors:ZHANG Bao-fu    WANG Yu-xiang    WU xiu-hai    KE Jian-ru    WANG Ling-ling
Affiliation:1.Taizhou Vocational & Technical College,Taizhou 318000,China;2.Madebao Vacuum Equipment Group Co.,Ltd.Taizhou 318000,China;3.Shenyang Vacuum Technology Institute,Shenyang 110042 China)
Abstract:
Keywords:
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