| 工作温度对Pd-Ni合金薄膜电阻氢敏性能的影响 |
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| 引用本文： | 谢贵久,杨斌,张月鑫,张璐,季惠明. 工作温度对Pd-Ni合金薄膜电阻氢敏性能的影响[J]. 表面技术, 2023, 52(4): 381-389 |
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| 作者姓名： | 谢贵久 杨斌 张月鑫 张璐 季惠明 |
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| 作者单位： | 天津大学 材料科学与工程学院 先进陶瓷及加工技术教育部重点实验室,天津 300350;中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙 410111;湖南大学 材料科学与工程学院,长沙 410082;中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙 410111;天津大学 材料科学与工程学院 先进陶瓷及加工技术教育部重点实验室,天津 300350 |
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| 摘 要： | 目的 围绕氢气传感器在航天领域生命保障系统、氢燃料电池汽车领域能源供给系统等领域氢气泄露检测的迫切需求,针对在实际工况下工作温度对Pd-Ni合金薄膜电阻氢敏性能影响尚不清楚的问题,研究不同应用场景下工作温度对Pd-Ni合金氢敏电阻的灵敏度、响应-恢复时间以及回零特性影响。方法 将氢敏电阻分别置于80、90、100、110℃等不同工作温度,采用一定流量的动态气体测试方法,通入不同氢气浓度的测试气体,通过数据采集系统实时测量其电阻变化曲线,并评价其氢气敏感特性。结果 通过提高工作温度,在2%H2/N2和4%H2/N2氢气浓度下,110℃下的灵敏度相比80℃近线性降低约28%,80℃下2个浓度点的响应-恢复时间分别从16.5、12.9 s降低至110℃下的12.5、9.5 s,灵敏度的降低幅度与响应-恢复时间的加快幅度在100～110℃趋于平缓;在氮气气氛或空气气氛下,其零点电阻存在差异或未恢复至绝对零点,不影响氢气浓度测量的绝对值。结论 工作温度升高会降低氢敏灵敏度,但能提升其响应与恢复时间,也能加速其...
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| 关 键 词： | 工作温度 薄膜氢气 氢敏 Pd-Ni合金 假零点 |
The Effect of Working Temperature on Hydrogen Sensor Performance Based on Pd-Ni Alloy Thin-films |
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| XIE Gui-jiu,YANG Bin,ZHANG Yue-xin,ZHANG Lu,JI Hui-ming. The Effect of Working Temperature on Hydrogen Sensor Performance Based on Pd-Ni Alloy Thin-films[J]. Surface Technology, 2023, 52(4): 381-389 |
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| Authors: | XIE Gui-jiu YANG Bin ZHANG Yue-xin ZHANG Lu JI Hui-ming |
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| Affiliation: | Key Laboratory of Advanced Ceramics and Machining Technology, Ministry of Education, School of Materials Science and Engineering, Tianjin University, Tianjin 300350, China;The 48th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Changsha 410111, China;School of Materials Science and Engineering, Hunan University, Changsha 410082, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | working temperature thin-film hydrogen hydrogen sensitivity Pd-Ni alloy false-zero point |
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