| 微通道热沉标准单元制作的SEM观察 |
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| 引用本文： | 王晓华,张宝顺,王玉霞,任大翠,张兴德. 微通道热沉标准单元制作的SEM观察[J]. 电子显微学报, 2000, 19(4): 587-588 |
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| 作者姓名： | 王晓华 张宝顺 王玉霞 任大翠 张兴德 |
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| 作者单位： | 长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室,长春,130022 |
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| 摘 要： | 半导体激光器由于其体积小、重量轻、结构紧凑且峰值功率高而受关注,由于其结构紧凑而使焊在载片上的器件在界面产生热流峰值达1kw/cm2量级,电-光转换效率达50%～60%,这个热负载限制了器件室温工作的要求,是高功率器件运转的主要限制因素。为便于高平均功率下这些器件的运行,各种有效热沉已发展起来,大致分为两组:(1)一组激光器安装在一个热沉结构上;(2)一个激光器安装在一个单独的热沉上。由于在(1)情况下维修困难大,而选用Si微通道热沉使热阻值低于现有的冷却器,且标准制冷单元可使LD组成大的阵列,易于实现多功率、多占空比激光器组合及…
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| 关 键 词： | 半导体激光器 热沉标准单元 SEM |
Scanning electron microscopic observation on the manufacture of microchannel standard heatsinking unit |
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| WANG Xiao-hua,ZHANG Bao-shun,WANG Yu-xia,REN Da-cui,ZHANG Xing-de. Scanning electron microscopic observation on the manufacture of microchannel standard heatsinking unit[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2000, 19(4): 587-588 |
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| Authors: | WANG Xiao-hua ZHANG Bao-shun WANG Yu-xia REN Da-cui ZHANG Xing-de |
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