| ITO／WO3／LiTaO3／NiOx／ITO全固态电致变色器件的制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 张金伟,刁训刚,王怀义,王天民,武哲,舒远杰.ITO／WO3／LiTaO3／NiOx／ITO全固态电致变色器件的制备及性能研究[J].稀有金属材料与工程,2008,37(9). |
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| 作者姓名： | 张金伟 刁训刚 王怀义 王天民 武哲 舒远杰 |
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| 作者单位： | 1. 北京航空航天大学,北京,100083
2. 中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，中国工程物理研究院"双百"人才基金 |
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| 摘 要： | 利用磁控溅射法在不同流量的液氮低温冷却的条件下在ITO玻璃上制备WO3、LiTaO3、NiOx、ITO薄膜,5层薄膜组成ITO/WO3/LiTaO3/NiOx/ITO全固态电致变色器件.采用XRD、SEM、可见光分光光度计等测试手段进行对比分析.结果发现:低温制备的WO3薄膜为非晶态结构,在可见光范围内漂白态和着色态的平均透射率差△T可以达到70%以上.LiTaO3薄膜表面的颗粒度比较小,结构致密,其厚度对整个器件的光学性能有一定影响,在可见光范围内平均透射率达到95%.在低温条件下制备的NiOx薄膜比常温沉积的薄膜会提供更多的Ni2 离子参与变色反应.该器件显示出较好的电致变色特性.
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| 关 键 词： | 液氮 低温 磁控溅射 电致变色器件 |
Preparation and Properties of Electrochromic Device of ITO/WO3/LiTaO3/NiOx/ITO in Full Solid Film |
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| Zhang Jinwei,Diao Xungang,Wang Huaiyi,Wang Tianmin,Wu Zhe,Shu Yuanjie.Preparation and Properties of Electrochromic Device of ITO/WO3/LiTaO3/NiOx/ITO in Full Solid Film[J].Rare Metal Materials and Engineering,2008,37(9). |
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| Authors: | Zhang Jinwei Diao Xungang Wang Huaiyi Wang Tianmin Wu Zhe Shu Yuanjie |
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