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| 一种新型电容式加速度传感器敏感电极的研究 | |
| 引用本文： | 刘双峰,徐晟,甘潦,马铁华.一种新型电容式加速度传感器敏感电极的研究[J].中北大学学报,2011(2):218-221. |
| 作者姓名： | 刘双峰 徐晟 甘潦 马铁华 |
| 摘 要： | 针对现有加速度传感器在测试时相对于高冲击后可能导致丧失高灵敏度的性能,提出了一种新型电容式加速度传感器.该传感器利用水银作为液体敏感电极代替传统的固体敏感电极,结构简单.实验证明:该传感器性能良好,线性度为6.52%,灵敏度为0.501pf/g,重复性为1.45%,可广泛应用于抗高过载低量程方面的加速度测试. |
| 关 键 词： | 加速度计 高灵敏度 氧化铝 水银 |