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C60薄膜的制备
引用本文:杨国伟,游建强.C60薄膜的制备[J].微细加工技术,1994(3):67-72.
作者姓名:杨国伟  游建强
作者单位:湘潭大学物理系
摘    要:本文首先简要叙述了C_(60)分子的结构以及C_(60)固体的结构和物性,然后较详细地讨论了目前采用的几种气相生长C_(60)。薄膜的方法,以及不同的衬底上C_(60)薄膜的生长特性,最后提出了目前C_(60)薄膜生长研究中存在的几个问题。

关 键 词:C_(60)  薄膜生长

GROWTH OF CARBON-60 THIN FILMS
Yang Guowei, You Jianqiang.GROWTH OF CARBON-60 THIN FILMS[J].Microfabrication Technology,1994(3):67-72.
Authors:Yang Guowei  You Jianqiang
Abstract:The structure of C_(60) molecules,the structure and properties of C_(60).solids hare been described simply.Some of methods of the growth of C_(60).thin films by different vapour phase deposition and tbe charactereization of the growth of C_(60) thin films on vaiious substrates have been described in detail,Finally,the probiems in the study of C_(60) films'growth have been put forward.
Keywords:C_(60)  thin film growth
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