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| 离子注入机注入离子能量分布的计算机模拟 | |
| 引用本文： | 张涛 李国卿. 离子注入机注入离子能量分布的计算机模拟[J]. 微细加工技术, 1994, 0(3): 17-21 |
| 作者姓名： | 张涛 李国卿 |
| 作者单位： | 大连理工大学三束实验室 |
| 摘 要： | 本文参考ＴＲＩＭ程序，建立用于模拟计算多种荷电态离子注入过程的程序。在此基础上，对注入离子荷电态进行拟合。本文的结论对注入离子束能量分析有应用价值。 |
| 关 键 词： | 计算机模拟；离子注入，荷电态，离子能量分布 |
COMPUTER SIMULAION OF ION ENERGY DISTRIBUTION OF ION IMPLANTER |
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| Zhang Tao,Li Guoqing,Gong Zexiang,Zhang Qingyu,Shi Weidong. COMPUTER SIMULAION OF ION ENERGY DISTRIBUTION OF ION IMPLANTER[J]. Microfabrication Technology, 1994, 0(3): 17-21 | |
| Authors: | Zhang Tao Li Guoqing Gong Zexiang Zhang Qingyu Shi Weidong |
| Abstract: | |
| Keywords: | ion implantation computer simulation ion charge state ion energy distribution |
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