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| X射线聚束透镜原理及其应用 | |
| 引用本文： | 郭玉彬,李福田.X射线聚束透镜原理及其应用[J].微细加工技术,1994(4):1-6. |
| 作者姓名： | 郭玉彬 李福田 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械研究所，应用光学国家重点实验室 |
| 摘 要： | 本文阐述了一种新型的Ｘ射线聚束装置─—Ｘ射线透镜的聚束原理。给出了透镜的基本设计方法，并对它应用于Ｘ射线光刻研究领域的前景作了展望。 |
| 关 键 词： | X射线，透镜，光刻 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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