| 单级透镜聚焦离子束系统的研究 |
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| 引用本文： | 俞学东 毕建华. 单级透镜聚焦离子束系统的研究[J]. 微细加工技术, 1994, 0(3): 6-16 |
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| 作者姓名： | 俞学东 毕建华 |
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| 作者单位： | 清华大学电子工程系 |
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| 摘 要： | 建立了一台简单实用的单级透镜聚焦离子束（ＦＩＢ）系统。该系统采用优越的Ｃａ￣＋液态金属离子源（ＬＭＩＳ）和单级Ｏ－Ｓ透镜，在束能为２０ｋｅＶ、束流为３００ｐＡ时，束径达到０．３μｍ。改进了束斑的测量方法。研究了影响束斑的各种因素。该系统既可用来作为扫描离子显微镜，又可作为亚微米加工工具。文中给出了在该系统上得到的样品显微图像和刻蚀图形的结果。
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| 关 键 词： | 聚焦离子束 液态金属离子源 微细加工 单级透镜 |
SINGLE LENS FOCUSED ION BEAM SYSTEM |
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| Yu Xuedong,Bi Jiauhua,Lu Jiaho. SINGLE LENS FOCUSED ION BEAM SYSTEM[J]. Microfabrication Technology, 1994, 0(3): 6-16 |
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| Authors: | Yu Xuedong Bi Jiauhua Lu Jiaho |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Focused Ion Beam (FIB) Liquid Metal Ion Source(LMIS) micro fabrication |
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