| 单片机在激光工件台中的应用 |
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| 引用本文： | 张福安,谭敏.单片机在激光工件台中的应用[J].微细加工技术,1994(2):16-21. |
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| 作者姓名： | 张福安 谭敏 |
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| 作者单位： | 中科院电工研究所 |
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| 摘 要： | 本文介绍单片机在双频激光干涉工件台位置显示和微动控制中的应用，由于采用单片机使激光工件台位置显示精度高，微动控制简单、可靠。显示分辨率０．０１μｍ，位置测量精度０．０２μｍ，测量最大距离３３０ｍｍ，（实际距离１００ｍｍ），微动距离５μｍ、１０μｍ、５０μｍ、１００μｍ四档。
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| 关 键 词： | 单片机 电子束曝光机 激光工件台 |
APPLICATION OF SINGLE CHIP MICROCOMPUTER IN LASER STAGE |
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| Zhang Fuan,Tan Min.APPLICATION OF SINGLE CHIP MICROCOMPUTER IN LASER STAGE[J].Microfabrication Technology,1994(2):16-21. |
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| Authors: | Zhang Fuan Tan Min |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | single chip microcomputer electron beam exposure system laser stage |
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