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| 用氧化锌压电薄膜制作温度稳定的声表面波延迟线 | |
| 引用本文： | 黄焕琼,晏光华.用氧化锌压电薄膜制作温度稳定的声表面波延迟线[J].压电与声光,1981(3). |
| 作者姓名： | 黄焕琼 晏光华 |
| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所 (黄焕琼)，四川压电与声光技术研究所(晏光华) |
| 摘 要： | 本文叙述了用ZnO压电薄膜制作温度稳定的表面波延迟线的实验工作结果,c-轴取向的ZnO膜用射频溅射方法制造,ZnO薄膜淀积在各种非压电基片上,可用于发生和检测中心频率约为100兆赫的声表面波.文中研究了薄膜结构和薄膜厚度与机电耦合系数的关系.详细研究了基片材料对延迟的温度系数的影响,获得了延迟温度系数为-5.4×10~(-6)/℃的结果. |
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