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电磁悬浮转子微陀螺悬浮稳定性分析
引用本文:吴校生,陈文元,张卫平,黄晓刚,刘武,崔峰.电磁悬浮转子微陀螺悬浮稳定性分析[J].传感技术学报,2008,21(1):49-55.
作者姓名:吴校生  陈文元  张卫平  黄晓刚  刘武  崔峰
作者单位:上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术国家教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术国家教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术国家教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术国家教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术国家教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术国家教育部重点实验室,上海,200030
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划),上海市科委资助项目
摘    要:电磁悬浮转子微陀螺(MGELR)是一种新型的角速率传感器,它和传统机械陀螺具有相同的工作机理.MGELR有望成为具有高精度的微陀螺.对于MGELR来说,转子的稳定悬浮是极为重要的.文中对微转子的稳定悬浮进行了全面的研究.详细分析并给出线圈、转子直径、电流幅值、悬浮高度等因素对微转子悬浮稳定性的影响.文中提出边界效应理论来解释微转子偏心所带来的侧向力.试验结果进一步论证了分析的正确性.文章最后得出稳定悬浮所应满足的条件.文章的研究内容为MGELR的结构设计提供理论基础.

关 键 词:微陀螺  稳定性  电磁悬浮  转子  边界效应
文章编号:1004-1699(2008)01-0049-07
修稿时间:2007年7月23日

Electromagnetically Levitated Rotor
Wu Xiaosheng,Chen Wenyuan,Zhang Weiping,Huang Xiaogang,Liu Wu,Cui Feng.Electromagnetically Levitated Rotor[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(1):49-55.
Authors:Wu Xiaosheng  Chen Wenyuan  Zhang Weiping  Huang Xiaogang  Liu Wu  Cui Feng
Affiliation:National Key Lab for Micro/Nanometer fabrication, Key Lab for Thin Films and Microfabrication of Ministry of Education, Research Institute of Micro/Nano Science and Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, China
Abstract:Micromachined gyroscope with electromagnetically levitated rotor (MGELR) is a new kind of an-gular rate sensor, which has the same working mechanism as traditional mechanical gyroscope. MGELR is hopeful to obtain micromachined gyroscope with high precision. The stable levitation is important for MGELR. The paper gives a comprehensive analysis on stability of levitated rotor. The influence of coils,diameter of rotor, current amplitude and levitating height on levitation stability is detailed in the paper.The edge effect is proposed for explaining the lateral force induced by eccentricity of micro-rotor. The re-suits of experiment confirm the analysis. At last, the condition of stable levitation is concluded. The work of paper provides theory foundation for the structure design of MGELR.
Keywords:micromachined gyroscope  stability  electromagnetic levitation  rotor  edge effect
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