| 溅射角度对氧化铬薄膜性能结构的影响 |
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| 引用本文： | 罗庆洪,杨会生,张天伟,王燕斌,陆永浩,于栋利. 溅射角度对氧化铬薄膜性能结构的影响[J]. 真空科学与技术学报, 2008, 28(Z1): 13-16 |
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| 作者姓名： | 罗庆洪 杨会生 张天伟 王燕斌 陆永浩 于栋利 |
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| 作者单位： | 1. 北京科技大学,材料物理与化学系,北京,100083
2. 燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004 |
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| 摘 要： | 硬质涂层对工件表面改性已经成为现代先进制造加工行业越来越重视的工艺,工件一般为复杂外形,保证工件表面涂层性能结构的一致性尤为重要,为此,必须研究工件与靶源之间的相对位置对涂层结构性能影响的关系,为涂层工艺的工程化应用提供理论依据.本文采用射频反应磁控溅射分别在高速钢和单晶硅片基体上沉积了氧化铬薄膜,研究了样品表面与靶表面相对取向对涂层的相结构、表面和断面形貌、力学性能、生长模式等因素的影响.结果表明溅射方法沉积涂层的临界角度为45°,该临界点决定了涂层的性质与生长模式.
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| 关 键 词： | 溅射角 显微结构 反应磁控溅射 氧化铬薄膜 射角 氧化铬薄膜 性能结构 影响 Coatings Chromium Oxide Quality Angle 性质 临界点 临界角 溅射方法 结果 因素 生长模式 力学性能 断面形貌 涂层 取向 表面相 |
| 文章编号： | 1672-7126(2008)增刊-013-04 |
| 修稿时间： | 2007-08-25 |
Sputtering Angle and Quality of Chromium Oxide Coatings on Irregularly Shaped Work-Piece |
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| Luo Qinghong,Yang Huisheng,Zhang Tianwei,Wang Yanbin,Lu Yonghao,Yu Dongli. Sputtering Angle and Quality of Chromium Oxide Coatings on Irregularly Shaped Work-Piece[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2008, 28(Z1): 13-16 |
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| Authors: | Luo Qinghong Yang Huisheng Zhang Tianwei Wang Yanbin Lu Yonghao Yu Dongli |
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