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日本电子公司研制大功率电子枪

作者姓名：	胡文其

摘要：	日本电子公司以电子显微镜的电子束技术为基础,开发电子显微加工装置、曝光装置、焊接装置、熔化装置、蒸镀装置等工业用大功率电子枪/电源获得成功。最近,在薄膜(录像磁带、包装材料、电子零件等)、钢板、玻璃等连续大面积蒸镀和高熔点材料溶化精炼中应用多次取得了实绩。电子枪电子束的控制系统是日本电子公司传统上最得意的技术,以这种尖端技术为中心的电子枪/电源,为了对应于以真空蒸
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