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基于数字调节方法的MEMS陀螺零位补偿技术研究
引用本文:吴峰,王向军,汤其剑.基于数字调节方法的MEMS陀螺零位补偿技术研究[J].传感技术学报,2012,25(12):1717-1721.
作者姓名:吴峰  王向军  汤其剑
作者单位:天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;天津大学微光机电系统技术教育部重点实验室
摘    要:针对环境温度影响导致MEMS陀螺零位输出变化较大的问题,设计了一种基于数字调节方法的零位补偿电路并提出了一种陀螺零位漂移特性的测试方法。该补偿电路依据陀螺内部温度传感器输出,实时调节补偿电路输出,实现零位补偿。采用全温(-40℃~+60℃)测试方法,研究得到陀螺零位漂移模型,再经过研究零漂值与补偿电路值之间的对应关系,求解出温度与补偿电路之间的数学模型。实验表明,采用该方法使陀螺零位在全温范围内稳定精度提高了一个数量级,证明了提出方法的可行性和有效性。

关 键 词:MEMS陀螺  数字调节  零位补偿  零位漂移  全温测试

Research on zero compensation for MEMS gyroscope based on digital regulation
WU Feng,WANG Xiangjun,TANG Qijian.Research on zero compensation for MEMS gyroscope based on digital regulation[J].Journal of Transduction Technology,2012,25(12):1717-1721.
Authors:WU Feng  WANG Xiangjun  TANG Qijian
Affiliation:1.State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University,Tianjin 300072,China; 2.MOEMS Education Ministry Key Laboratory,Tianjin University,Tianjin 300072,China)
Abstract:
Keywords:MEMS gyroscope  digital regulation  zero compensation  zero-drift  full temperature test
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