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| SSB500系列步进投影光刻机 | |
| 摘 要： | 国家重点新产品:SSB500步进投影光刻机上海微电子装备有限公司(SMEE)主要致力于量产型IC制造、先进封装、3D-TSV、MEMS、OLED-TFT制造等领域的投影光刻机系列产品的研发、制造及销售,公司目前拥有600系列IC前道扫描光刻 |
| 关 键 词： | 投影光刻机 步进光刻机 国家重点新产品 电子装备 系列产品 晶圆级封装 制造领域 背面对准 有限公司 大视场 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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