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| 一种方片校正装置 | |
| 引用本文： | 刘辉,张国彪,雷永全. 一种方片校正装置[J]. 电子元器件应用, 2003, 5(6): 53-54 |
| 作者姓名： | 刘辉 张国彪 雷永全 |
| 作者单位： | 西北机器厂，陕西歧山722405 |
| 摘 要： | 介绍1种方片校正装置，用来解决方片在圆片处理系统上运行时所遇到的传输和收片困难。 |
| 关 键 词： | 方片 校正盘 圆片处理系统 传输 收片 |
A Correcting Apparatus for Square Wafer |
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