| 准分子激光对高分子薄膜的刻蚀 |
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| 引用本文： | 方尔梯,吴源相,黄正宇,丁明,曾宪康. 准分子激光对高分子薄膜的刻蚀[J]. 应用激光, 1992, 0(6) |
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| 作者姓名： | 方尔梯 吴源相 黄正宇 丁明 曾宪康 |
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| 作者单位： | 华东化工学院化学物理研究室，华东化工学院化学物理研究室，华东化工学院化学物理研究室，华东化工学院化学物理研究室，华东化工学院化学物理研究室 上海，200237，上海，200237，上海，200237，上海，200237，上海，200237 |
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| 摘 要： | 对PET材料在紫外激光作用下被刻蚀的过程进行了研究,并对其中的机理及影响刻蚀的因素做了讨论。
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| 关 键 词： | 紫外激光 刻蚀 PET |
Ablation of Polymer Film by Excimer Laser |
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| Fang Erti,Wu Yuanxiang,Huang Zhengyu,Ding Ming,Zeng Xiankang Chemical Physics Laboratory,East China University of Chemical Engineering. Ablation of Polymer Film by Excimer Laser[J]. Applied Laser, 1992, 0(6) |
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| Authors: | Fang Erti Wu Yuanxiang Huang Zhengyu Ding Ming Zeng Xiankang Chemical Physics Laboratory East China University of Chemical Engineering |
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| Abstract: | The ablation process of PET material by UV laser is studied. and the mechnics as wellas the influential factors are discussed. |
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| Keywords: | UV laser Ablation PET |
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