| LSAT(111)衬底上ZnO单晶薄膜的分子束外延生长 |
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| 引用本文： | 英敏菊,杜小龙,刘玉资,曾兆权,梅增霞,郑浩,袁洪涛,贾金锋,薛其坤,张泽.LSAT(111)衬底上ZnO单晶薄膜的分子束外延生长[J].半导体学报,2005,26(z1):82-86. |
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| 作者姓名： | 英敏菊 杜小龙 刘玉资 曾兆权 梅增霞 郑浩 袁洪涛 贾金锋 薛其坤 张泽 |
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| 作者单位： | 中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京,100080;北京工业大学,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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科技部科研项目
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教育部留学回国人员科研启动基金 |
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| 摘 要： | 利用射频等离子体辅助分子束外延技术,在LSAT(111)衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜.研究了衬底表面预处理及生长温度对ZnO外延膜的生长过程、外延取向关系以及表面形貌的影响.发现在较低温度下生长ZnO时,薄膜中容易形成30°旋转畴,而在较高温度下,可完全消除薄膜中的旋转畴,得到具有单一畴的ZnO单晶薄膜,讨论了旋转畴的起源以及生长温度对于消除旋转畴的作用.锐利的3×3 RHEED图像验证了ZnO薄膜具有O极性.
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| 关 键 词： | ZnO单晶薄膜 RF-MBE LSAT(111) 旋转畴 外延取向 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)S0-0082-05 |
| 修稿时间： | 2004年9月10日 |
Growth of ZnO Thin Films on LSAT(111) Substrates by Radio Frequency Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy |
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| Ying Minju,Du Xiaolong,Liu Yuzi,Zeng Zhaoquan,Mei Zengxia,Zheng Hao,Yuan Hongtao,Jia Jinfeng,Xue Qikun,Zhang Ze.Growth of ZnO Thin Films on LSAT(111) Substrates by Radio Frequency Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(z1):82-86. |
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| Authors: | Ying Minju Du Xiaolong Liu Yuzi Zeng Zhaoquan Mei Zengxia Zheng Hao Yuan Hongtao Jia Jinfeng Xue Qikun Zhang Ze |
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| Keywords: | |
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