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分类号
杂志ISSN号
双维工作台空气静压导轨研制
作者姓名:
熊锋
作者单位:
电子工业部第四十五研究所
摘 要:
本文着重介绍了一种由空气静压止推轴承组成的空气静压导轨,论述了其结构原理、数据及实用化过程中解决的关键技术难题。为高精度工作台提供了一种良好的导轨机构。
关 键 词:
空气静压止推轴承
空气静压导轨
双维精密工作台
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