| 高频低温漂TC-SAW滤波器的设计 |
| |
| 引用本文： | 王巍,滕洪菠,王方,张迎,袁军,宋小瑛. 高频低温漂TC-SAW滤波器的设计[J]. 压电与声光, 2023, 45(4): 544-548 |
| |
| 作者姓名： | 王巍 滕洪菠 王方 张迎 袁军 宋小瑛 |
| |
| 作者单位： | 重庆邮电大学 光电工程学院/国际半导体学院，重庆 400065 |
| |
| 基金项目： | 重庆市科技局产业化基金资助项目（CSTC2018JSZX-CYZTZX0211，CSTC2018JSZX-CYZTZX0048）；重庆市科技局自然科学基金资助项目（CSTB2022NSCQ-MSX1389）；重庆市留学人员回国创业创新支持计划基金资助项目（2204012976831207） |
| |
| 摘 要： | 该文设计了一款温度补偿型声表面波（TC-SAW）滤波器，建立了弹性材料及压电材料温度方程，对滤波器的温度场进行仿真分析。通过在压电材料（128°YX-LiNbO3）上沉积SiO2作为温度补偿层，降低了滤波器的频率温度系数。为了解决在沉积SiO2温度补偿层后，谐振器的反谐振频率处出现杂散响应，通过增加电极厚度，降低了谐振器杂散响应对滤波器性能的影响。采用四阶级联提高滤波器的带外抑制。仿真结果表明，设计的TC-SAW滤波器中心频率为2 497 MHz，频率温度系数为-9.89×10-6/℃，-30~85 ℃工作温度范围内的带内最大插损为1.95 dB，带外抑制大于30 dB，-3 dB损耗带宽大于97 MHz。
|
| 关 键 词： | TC-SAW滤波器；谐振器；频率温度系数；电极厚度；SiO2温度补偿层 |
| 收稿时间： | 2023-02-09 |
Design of TC-SAW Filter with High Frequency and Low Temperature Drift |
| |
| WANG Wei,THENG Hongbo,WANG Fang,ZHANG Ying,YUAN Jun,SONG Xiaoying. Design of TC-SAW Filter with High Frequency and Low Temperature Drift[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2023, 45(4): 544-548 |
| |
| Authors: | WANG Wei THENG Hongbo WANG Fang ZHANG Ying YUAN Jun SONG Xiaoying |
| |
| Affiliation: | School of Optoelectronics Engineering / International Semiconductor College, Chongqing University of Posts andTelecommunications, Chongqing 400065 , China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
|
| 点击此处可从《压电与声光》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《压电与声光》下载免费的PDF全文 |
