| 射频磁控溅射法制备TiO2薄膜的拉曼光谱 |
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| 引用本文： | 赵丽特,叶勤,丁瑞钦. 射频磁控溅射法制备TiO2薄膜的拉曼光谱[J]. 材料导报, 2006, 20(Z1): 89-90 |
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| 作者姓名： | 赵丽特 叶勤 丁瑞钦 |
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| 作者单位： | 1. 五邑大学数理系,江门,529020
2. 暨南大学物理系,广州,510632 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜,并应用显微拉曼光谱和原子力显微镜对薄膜进行了检测.通过拉曼光谱研究,一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构,另一方面对薄膜的生长方式提供了线索.
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| 关 键 词： | 薄膜 磁控溅射 拉曼光谱 晶体结构 生长方式 |
Raman Spectroscopy of Titania Thin Films by RF Magnetron Sputtering |
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| ZHAO Lite,YE Qin,DING Ruiqin. Raman Spectroscopy of Titania Thin Films by RF Magnetron Sputtering[J]. Materials Review, 2006, 20(Z1): 89-90 |
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| Authors: | ZHAO Lite YE Qin DING Ruiqin |
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| Abstract: | Titania(TiO_2) thin films are prepared by radio-frequency (RF) magnetron sputtering. The crystal structure and growth mode are studied by Raman spectrum and atomic force microscopy (AFM). |
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| Keywords: | TiO2 |
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