| 高加速度宏微运动平台研究 |
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| 引用本文： | 刘喜涛,高健.高加速度宏微运动平台研究[J].机械设计与制造,2014(9). |
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| 作者姓名： | 刘喜涛 高健 |
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| 作者单位： | 广东工业大学机电工程学院; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(U1134004);广东省高等学校科技创新项目(2012CXZD0020);广东省战略性新兴产业专项资金(2012A080303004) |
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| 摘 要： | 对高加速度宏微运动平台进行了研究,在分析宏微复合驱动技术的基础上,采用一种新型的宏微驱动方式,研制了基于压电陶瓷的高加速度宏微运动平台。宏运动由音圈电机驱动,可实现高加速度、大行程运动;微运动由安装在音圈电机轴上的压电陶瓷驱动,用以补偿宏动所产生的定位误差,达到高精度的设计目标。在微动过程中,由绝对式直线光栅尺实现闭环位置反馈。根据设计要求,搭建了宏微驱动高加速度高精度定位平台,通过实验验证其性能。实验结果表明,该宏微运动平台加速度大于10g,重复定位精度小于1μm。
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| 关 键 词： | 运动平台 高加速度 高精度 宏微驱动 |
Research on High Acceleration Motion Stage of Macro-Micro Driving |
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