| 涂膜SAW的气、湿敏传感器响应特性研究 |
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| 引用本文： | 骆如枋. 涂膜SAW的气、湿敏传感器响应特性研究[J]. 郑州轻工业学院学报(自然科学版), 2000, 15(4): 90-94 |
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| 作者姓名： | 骆如枋 |
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| 作者单位： | 中国科学院,上海冶金研究所,上海,200050 |
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| 摘 要： | 大量事实表明，涂膜ＳＡＷ气、湿敏传感器的实际响应值比Ｗohltjen公式的预期值大得多。与石英ＱＣＭ和ＧＬＣ测试结果对比，发现涂膜ＳＡＷ气、湿敏传感器的实际响应值比纯质量效应响应值要超出２倍－５倍，产生的这种现象的原因，是因为绝大多数聚合物涂膜均具有明显的黏弹性，在吸湿、吸气后会产生膜的溶涨软化，使膜的剪切模量明显下降，从而使传感器频降加剧；当膜的软化达到一定程度后，又会产生膜振荡，传感器振荡频律明显增加，响应曲线反弹上升，如果膜继续软化或膜的厚度较大，还可能发生膜的高次振荡，基于此可建立一个对涂膜ＳＡＷ湿度传感器响应的预期模式，进而对其响应值进行预测。
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| 关 键 词： | 气敏器件 湿度传感器 高聚物 涂膜SAW 响应 |
| 文章编号： | 1004-1478(2000)04-0090-05 |
| 修稿时间： | 2000-07-10 |
Study on the response characteristic of polymer-coated SAW gas and humidity sensor |
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