| 硅基SiO_2光波导 |
| |
| 引用本文： | 徐永青,梁春广,杨拥军,赵彤. 硅基SiO_2光波导[J]. 半导体学报, 2001, 22(12): 1546-1550 |
| |
| 作者姓名： | 徐永青 梁春广 杨拥军 赵彤 |
| |
| 作者单位： | 信息产业部电子第十三研究所,石家庄，050051 |
| |
| 基金项目： | 国家重点实验室基金;; |
| |
| 摘 要： | 在硅基上通过氢氧焰淀积的 Si O2 ,厚度达到了 2 0 μm;通过掺 Ge增加芯层的折射率 ,折射率比小于 1% ,并可调 ;用反应离子刻蚀工艺对波导的芯层进行刻蚀 ,刻蚀深度为 6 μm,刻蚀深宽比大于 10 ;波导传输损耗小于0 .6 d B/ cm(λ=1.5 5 μm) ,并对波导的损耗机理和测试进行了分析与研究 .另外 ,为实现光纤与波导的耦合 ,结合微电子机械系统技术 ,在波导基片上制作了光纤对准 V形槽
|
| 关 键 词： | 二氧化硅 光波导 氢氧焰淀积 微电子机械系统 |
| 文章编号： | 0253-4177(2001)12-1546-05 |
| 修稿时间： | 2000-12-12 |
Silica-on-Silicon Optical Waveguides |
| |
| XU Yong qing,LIANG Chun guang,YANG Yong jun and ZHAO Tong. Silica-on-Silicon Optical Waveguides[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2001, 22(12): 1546-1550 |
| |
| Authors: | XU Yong qing LIANG Chun guang YANG Yong jun ZHAO Tong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | silica optical waveguides FHD MEMS |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
|
