| 掺杂和热处理对纳米ZnO薄膜气敏特性影响 |
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| 引用本文： | 李健,李海兰,田野,宋淑芳.掺杂和热处理对纳米ZnO薄膜气敏特性影响[J].传感器与微系统,2002,21(3):61-64. |
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| 作者姓名： | 李健 李海兰 田野 宋淑芳 |
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| 作者单位： | 1. 内蒙古大学,物理系,内蒙古,呼和浩特,010021
2. 中国科学院,半导体研究所,北京,100083 |
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| 摘 要： | 用真空蒸发法在玻璃和单晶硅片上制备纯Zn和掺杂Zn薄膜，然后在高于450℃条件下进行氧化、热处理（玻璃衬底）获得良好的纳米ZnO薄膜和掺杂ZnO薄膜。对单晶硅衬底上制备的纯Zn薄膜在高于800℃温度条件下进行液态源掺杂，获得掺B和P纳米ZnO薄膜。实验表明，掺杂和热处理使纳米ZnO薄膜的结构、导电性能得到改善，有效地降低了纳米ZnO薄膜的电阻，同时薄膜的气敏特性也得到较大的改善。
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| 关 键 词： | 掺杂 热处理 纳米ZnO薄膜 气敏特性 氧化锌 半导体 |
| 文章编号： | 1000-9787(2002)03-0061-04 |
| 修稿时间： | 2001年10月17日 |
Influence on gas sensitive characteristics of nanon-ZnO thin films by doping and heat-treatment |
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| LI Jian ,LI Hai lan ,TIAN Yie ,SONG Shu fang.Influence on gas sensitive characteristics of nanon-ZnO thin films by doping and heat-treatment[J].Transducer and Microsystem Technology,2002,21(3):61-64. |
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| Authors: | LI Jian LI Hai lan TIAN Yie SONG Shu fang |
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| Affiliation: | LI Jian 1,LI Hai lan 1,TIAN Yie 1,SONG Shu fang 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanon ZnO thin film gas sensitive characteristics doping heat treatment |
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