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| 关于超大规模集成电路对硅材料要求的探讨 | |
| 引用本文： | 万群.关于超大规模集成电路对硅材料要求的探讨[J].稀有金属,1984(6). |
| 作者姓名： | 万群 |
| 作者单位： | 北京有色金属研究总院 |
| 摘 要： | 一、前言 微电子学是当代信息科学的重要组成部分。它的发展趋势是集成度不断提高,而单个元件的成本不断下降。超大规模集成电路(VLSI)是集成电路发展的新阶段,它给计算机和电子工业带来了革命性的变化。表1列出了半导体存储器的集成度的变化。可以看出,集成度低的存储器要为集成度高的所取代,因此VLSI的产品的比例要快步地增大。虽然,对超大规模的划分有不同的见解,但256K随机存取存储器(RAM)却公 |
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