微控中流离子注入机用Freeman离子源期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

微控中流离子注入机用Freeman离子源

作者姓名：	林治洲李增普吴建华王戈

作者单位：	中国原子能科学研究院(林治洲，李增普，吴建华)，中国原子能科学研究院(王戈)

摘要：	为了适应我国半导体器件及大规模集成电路工业的发展,研制一台供微控中流离子注入机使用的气固两用Freeman离子源。~(11)B~ 束流达1.5mA,离子比大于40％。
本文献已被 CNKI 等数据库收录！