降低漏电流的技术现状与未来展望——解决漏电流问题已刻不容缓

采用65nm制造LSI时，电流将难以控制地大量泄漏出来，这种警告之声越来越高。问题的是，这些电流并不是LSI工作所需的电流，即使在LSI不工作的情况下，也会出现漏电流。LSI工作频率越高，这种漏电流就越大。随着半导体工艺的微细化发展，漏电流会更大(见图1)。