| 薄膜生长过程的分子尺度模拟 |
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| 引用本文： | 张平则,张高会,崔彩娥,缪强,潘俊德.薄膜生长过程的分子尺度模拟[J].电子工艺技术,2004,25(4):171-173. |
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| 作者姓名： | 张平则 张高会 崔彩娥 缪强 潘俊德 |
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| 作者单位： | 太原理工大学表面工程研究所,山西,太原,030024 |
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| 摘 要： | 概述了薄膜生长过程分子尺度模拟的原理及方法,并对不同模拟方法的国内外研究现状进行了分析综述.
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| 关 键 词： | 薄膜 分子动力学 Monte Carlo模拟 |
| 文章编号： | 1001-3474(2004)04-0171-03 |
| 修稿时间： | 2004年4月20日 |
Molecular Scale Computer Simulation on Procedure of Thin Film Growth |
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| ZHANG Ping-ze,ZHANG Gao-hui,CUI Cai-e,MIAO Qiang,PAN Jun-de.Molecular Scale Computer Simulation on Procedure of Thin Film Growth[J].Electronics Process Technology,2004,25(4):171-173. |
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| Authors: | ZHANG Ping-ze ZHANG Gao-hui CUI Cai-e MIAO Qiang PAN Jun-de |
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| Abstract: | Principle and methods of molecular scale computer simulation on procedure of thin Film trowth are interpreted.Current development of different methods are reviewed. |
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| Keywords: | Thin film Molecular dynamics Monto carlo simulation |
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