反应溅射镀膜技术与离子镀技术的异同

反应磁控溅射技术与离子镀技术在薄膜特点、成膜环境以及使用范围等方面有很多相同之处,从本质上来看都属于溅射镀膜技术,但从产生机理上看还是有一些区别的,本文将从两种技术的发生原理、常见特点和工艺角度阐述其不同点。